1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种颗粒硅区熔检测采样装置.pdfVIP

  • 2
  • 0
  • 约1.05万字
  • 约 8页
  • 2023-06-11 发布于四川
  • 举报

一种颗粒硅区熔检测采样装置.pdf

    本发明属于颗粒硅生产领域，具体公开了一种颗粒硅区熔检测采样装置，该装置包括区熔炉(1)和在区熔炉(1)内部从上到下依次设置的籽晶夹持器(2)、加热线圈(3)、颗粒硅容纳装置，颗粒硅容纳装置包括多组不同口径的容纳管(4)用于容纳不同尺寸的颗粒硅(41)，所述颗粒硅(41)的尺寸与对应容纳管(4)的口径匹配，所述容纳管(4)为高纯硅管，用于容纳颗粒硅(41)；所述容纳管(4)具有上端口，所述上端口位于所述加热线圈(3)下方，所述容纳管(4)的底端连接有氩气管道(6)，本发明将颗粒硅置于高纯硅管中，避

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113008622 B (45)授权公告日 2022.07.26 (21)申请号 202110254573.7 CN 104169475 A,2014.11.26 (22)申请日 20

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >