张网方法及张网装置.pdfVIP

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2023-06-11 发布于四川
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张网方法及张网装置.pdf

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本申请实施例提供一种张网方法及张网装置。本申请实施例第一方面中的张网方法，包括：提供通用蒸镀掩膜，通用蒸镀掩膜包括边缘和由边缘围合且具有多个蒸镀开口的网格状遮挡部，边缘在自身延伸方向上具有相继分布的蒸镀区段和遮挡区段，蒸镀区段与蒸镀开口对应，遮挡区段与遮挡部对应；对边缘提供均值张网拉力使得通用蒸镀掩膜沿张网方向进行张网，均值张网拉力向边缘的蒸镀区段和遮挡区段均提供相同的张力，以使蒸镀区段和遮挡区段平行等齐的沿张网方向移动。使得多个遮挡部沿张网方向的伸长量相同。保证通用蒸镀掩膜中的多个蒸镀开口的形

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113005401 A (43)申请公布日 2021.06.22 (21)申请号 202110217987.2 (22)申请日 2021.02.26 (71)申请人昆山国显光电有限公司