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一种验证电容失配测试结果的系统及方法.pdfVIP

一种验证电容失配测试结果的系统及方法.pdf

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    本发明公开了一种验证电容失配测试结果的系统及方法，所述系统包括：若干组实际电容和若干组冗余模拟电容，各组实际电容包括第一叉指结构(10)、第二叉指结构(20)及金属线，用于形成所需测量的电容；各组冗余模拟电容包括第三叉指结构(100)、第四叉指结构(200)及金属线，用于形成所需测量的电容对应的测试结构的连线以及测试系统的寄生电容，所述冗余模拟电容的金属线与其对应的叉指结构在相连处断开。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112989743 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202110170193.5 (22)申请日 2021.02.05 (71)申请人 上海华虹宏力半导体制造有限公司

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