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本发明公开了一种高精度硅基压阻式压力传感器，属于硅基集成压力传感器设计技术领域。包括厚膜陶瓷基板，厚膜陶瓷基板的正面设有气压检测口，厚膜陶瓷基板的背面设有陶瓷封装体，陶瓷封装体内部的厚膜陶瓷基板区域上设有硅基压力传感器芯片和伺服电路；其中，硅基压力传感器芯片通过键合方式实现电气连接。本发明所述高精度硅基压阻式压力传感器，具有温度补偿功能，减小补偿误差，能够满足高精度应用场合的技术需求。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113008438 A
(43)申请公布日 2021.06.22
(21)申请号 202110217698.2
(22)申请日 2021.02.26
(71)申请人 西安微电子技术研究所
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