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一种晶圆加工用自动卸料研磨机.pdfVIP

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  • 2023-06-11 发布于四川
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一种晶圆加工用自动卸料研磨机.pdf

    本发明公开了一种晶圆加工用自动卸料研磨机，其结构包括机械架、旋转机构、固定台、控制面板，旋转机构上端嵌固在机械架中间下表面，旋转机构下端安装于固定台内部上端，控制面板下端左侧卡合在固定台右侧，受力机构在晶圆表面移动，对限位板下端的支撑球块产生低压力，对刮除结构研磨的阻挡力进行缓冲，避免阻挡力过大，对研磨的阻挡力进行缓冲，避免阻挡力过大产生的研磨不稳定的问题，从而在阻挡杆的阻挡下，避免研磨块产生偏移，同时弯曲的研磨块使研磨的阻力进行分散，在移动研磨时使研磨的阻力进受力均匀，防止出现阻挡力不稳定的情

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112959157 A (43)申请公布日 2021.06.15 (21)申请号 202110201561.8 (22)申请日 2021.02.23 (71)申请人 牟宗娟 地址 200

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