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本公开提供了半导体封装装置及其制造方法,通过减小与芯片电连接件接触的导电柱的面积,可以在重布线层和芯片之间键合过程中的芯片出现偏移的情况下仍可以实现重布线层中导电柱与芯片电连接件的接触,提高产品良率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112992806 A
(43)申请公布日 2021.06.18
(21)申请号 202110122120.9
(22)申请日 2021.01.25
(71)申请人 日月光半导体制造股份有限公司
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