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2023-06-11 发布于四川
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一种用于晶圆加工的刷洗装置.pdf

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本发明公开了一种用于晶圆加工的刷洗装置，包括承载机构、清洗机构、固定机构，所述承载机构的后部一侧安装有所述清洗机构，所述承载机构的外部安装有所述固定机构，还包括用于对晶圆表面进行除尘的除尘机构，所述除尘机构包括第一固定块、出风方管、第二固定块、气缸、风机、连接臂、连接轴、滚轮、电机，所述第一固定块通过螺栓连接在所述承载机构的前部表面上。本发明利用气缸与喷液管的设置使得在需要对晶圆进行清洗时可快速移动到位，同时滚轮的位置也可被快速移动到位，进而实现了对与晶圆的驱动，并且在吸盘的作用下可对晶圆进行稳

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112992733 B (45)授权公告日 2022.03.11 (21)申请号 202110171730.8 审查员张卉 (22)申请日 2021.02.08

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