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2023-06-11 发布于四川
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一种单晶棒自动拆卸的单晶炉及其拆卸方法.pdf

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本发明公开的一种单晶棒自动拆卸的单晶炉及其拆卸方法，包括单晶炉底座，所述单晶炉底座上设有单晶炉主体，所述单晶炉主体用于生产单晶棒，所述单晶炉底座左侧设有机架，所述机架前侧端面上设有单晶棒拆卸机构，所述单晶棒拆卸机构用于提供拆卸单晶棒所需的横移运动以及储存单晶棒所需的旋转运动，所述单晶棒拆卸机构上设有单晶棒夹持机构，所述机架上设有位于所述单晶棒夹持机构下侧的单晶棒储存机构，所述单晶棒储存机构用于储存单晶棒，本发明能实现自动化拆卸单晶棒，有效避免人员在拆卸转运过程中被烫伤，且无需在转运单晶棒时二次装

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112981517 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202110299269.4 (22)申请日 2021.03.21 (71)申请人陈文地址 2145

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