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2023-06-11 发布于四川
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一种切割晶圆用的清洗设备.pdf

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本发明公开了一种切割晶圆用的清洗设备，其结构包括清洗槽、提手、散热口、旋钮，清洗槽镶嵌设于旋钮的正上方，提手对称安装在旋钮的上方左右两侧，散热口嵌固安装在提手的正下方，旋钮活动卡合安装在散热口的左侧方，在晶圆片向下挤压闭合片时，会将闭合片内的空气顺着空心管向下排放至气囊中，使气囊随着闭合片空气的灌入而向外膨胀，从而对端面间的间隙进行填充，能够有效的对晶圆片的左右两端进行固定，且由于橡胶块的内端面为蜂窝状的阵列橡胶制成，能够有效的保证对晶圆片的固定，且利用蜂窝状的镂空槽，将位于放置盘中的水流浸湿溢

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112992740 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202110226106.3 (22)申请日 2021.03.01 (71)申请人李军平地址 341

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