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一种中空二维压电惯性冲击驱动平台.pdfVIP

一种中空二维压电惯性冲击驱动平台.pdf

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    本发明公开一种中空二维压电惯性冲击驱动平台，包括方形平台、封装盖板和固定底座，方形平台由方形外框、方形内框、位移放大机构和压电驱动器组成，封装盖板设置柔性机构并安装在方形平台的上表面，方形平台通过方形外框的四角部位与下表面的固定底座摩擦耦合，在压电驱动器锯齿波激励电压下实现惯性冲击运动。本发明采用中心镂空的结构设计提供观测孔径，采用摩擦耦合调整机构保证冲击驱动的稳定性，可进一步提高多自由度跨尺度精密驱动定位在SEM等显微成像系统中的应用效果。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112994513 B (45)授权公告日 2022.02.18 (21)申请号 202110186867.0 审查员 范劢超 (22)申请日 2021.02.08

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