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2023-06-11 发布于四川
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一种氮化镓场效应管及其制备方法.pdf

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本发明公开一种氮化镓场效应管及其制备方法，所述氮化镓场效应管包括氮化镓衬底、漂移层、沟道层以及电极；漂移层设于氮化镓衬底的一侧；沟道层设于漂移层远离衬底的一侧，沟道层包括邻接漂移层设置的第一沟道层以及邻接第一沟道层设置的第二沟道层，沟道层内设有两个导电沟道，每一导电沟道同时贯穿第一沟道层和第二沟道层设置，且两个导电沟道呈交叉设置；电极包括源极、漏极和栅极，源极设于第二沟道层的外部且连接两个导电沟道，漏极设于衬底远离漂移层的一侧，栅极设于第二沟道层的外部且避让导电沟道设置；其中，漂移层与第一沟道层

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113013243 B (45)授权公告日 2022.05.10 (21)申请号 202110145845.X H01L 21/335 (2006.01) (22)申请日 2021.0

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