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2023-06-11 发布于四川
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本申请公开了一种晶圆全自动取粒机，应用在晶圆制备领域，其技术方案要点是一种晶圆全自动取粒机，包括工作台，工作台上设置有放置台，放置台的上方设置有检测装置，检测装置的一侧设置有机械臂，放置台连接有取料移动装置，机械臂一侧的工作台上设置有承装盘，承装盘连接有放料移动装置，机械臂包括支撑架，支撑架上设置有转动电机，转动电机的输出端竖直向下设置，输出端的末端连接有取料臂，取料臂的末端设置有取料吸嘴，支撑架上设置有气泵，气泵与取料吸嘴之间连通有抽气管，工作台上设置有PLC控制箱，取料移动装置、放料移动装置

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112992748 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202110218025.9 (22)申请日 2021.02.26 (71)申请人苏州新米特电子科技有限公司

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