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2023-06-11 发布于四川
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一种高纯靶材真空喷涂装置.pdf

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本发明涉及一种高纯靶材真空喷涂装置，其可包括：机架；卧式真空筒体，其固定安装在所述机架上，由不锈钢制成，内径小于500毫米，并且内壁抛光，其上设有喷枪安装口、真空管接口和抽烟口；等离子喷枪，固定安装在喷枪安装口上，在其两边的一段筒体上设有第一水冷结构，等离子喷枪内设有用于冷却喷嘴的第二水冷结构；靶材转动行走机构，其部分安装在机架上和部分安装在筒体中，用于驱动固定在其靶材安装管上的靶材在筒体内行走和转动，其上设有用于对靶材和靶材安装管进行冷却的第三水冷结构；抽真空组件，其与真空管接口连通；以及抽烟

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112974082 A (43)申请公布日 2021.06.18 (21)申请号 202110170481.0 (22)申请日 2021.02.08 (71)申请人厦门佰顺兴自动化科技有限公司

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