新型多晶硅铸锭用高导热复合坩埚及其制备方法.pdfVIP

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2023-06-12 发布于四川
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新型多晶硅铸锭用高导热复合坩埚及其制备方法.pdf

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本发明涉及一种新型多晶硅铸锭用高导热复合坩埚及其制备方法，属于多晶硅铸锭用坩埚技术领域，包括坩埚体，所述坩埚体为上端开口的腔型结构，所述坩埚体的内腔底部铺设有石墨烯‑二氧化硅复合材料层，所述石墨烯‑二氧化硅复合材料层的上方铺设有石英陶瓷结构层。本发明的一种新型多晶硅铸锭用高导热复合坩埚及其制备方法，通过在坩埚中添加石墨烯‑二氧化硅复合材料层，能有效地增强材料的力学性能和热学性能，使新型复合坩埚具有较高强度的同时还具有很好的韧性，可以有效地减少坩埚的溢流率，同时使用该复合坩埚可降低铸锭过程的能耗，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113045187 A (43)申请公布日 2021.06.29 (21)申请号 202110425138.6 C30B 29/06 (2006.01) (22)申请日 2