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分割头及分割装置.pdfVIP

分割头及分割装置.pdf

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    本发明提供一种分割头及分割装置，其能够容易地进行基板的对位，并且能够良好地分割基板。分割头(10)将以形成有刻划线(L)的面朝下的方式载置于载置台(2)的基板(F)沿刻划线(L)分割，该分割头(10)具有：推压构件(220)，其压住基板(F)的上表面并将基板(F)推压在载置台(2)；顶起构件(230)，其将被推压构件(220)以端部从载置台(2)向侧方突出的方式推压在载置台(2)的状态的基板(F)的端部从下表面侧顶起。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113043481 A (43)申请公布日 2021.06.29 (21)申请号 202011109215.9 (22)申请日 2020.10.16 (30)优先权数据

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