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一种厚度测量方法和系统.pdfVIP

一种厚度测量方法和系统.pdf

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    本申请实施例公开了一种厚度测量方法和系统，所述方法包括：获取透射电子显微镜输出的校准样品的TEM图像；根据校准样品的TEM图像的灰度值得到校准样品的吸收率；通过预设测量方法测量所述校准样品的厚度；根据所述校准样品的吸收率和厚度获得吸收率‑厚度关系曲线；获取待测样品的吸收率；根据吸收率‑厚度关系曲线和所述待测样品的吸收率，计算得到所述待测样品的厚度。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113008170 B (45)授权公告日 2022.08.19 (21)申请号 202110295161.8 (56)对比文件

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