一种抑制寄生杂波的薄膜体声波谐振器.pdfVIP

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2023-06-12 发布于四川
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一种抑制寄生杂波的薄膜体声波谐振器.pdf

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本发明涉及电子通信技术领域，具体公开了一种抑制寄生杂波的薄膜体声波谐振器，包括顶电极层、压电层、底电极层、空腔和衬底，其中，所述衬底的顶部开口处设置有空腔，所述空腔上方形成有所述底电极层，所述底电极层上形成有所述压电层，所述压电层上形成有所述顶电极层，其中，所述压电层的横截面为第一多边形，所述第一多边形的所有内角中角度值小于180度的角均倒圆为第一圆角。本发明提供的抑制寄生杂波的薄膜体声波谐振器，通过对传统顶电极‑压电层‑底电极型的FBAR的压电层的小于180度的内角进行倒圆角处理，该圆角结构能

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113037243 A (43)申请公布日 2021.06.25 (21)申请号 202110313979.8 (22)申请日 2021.03.24 (71)申请人江苏物联网研究发展中心