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本发明公开了一种高熵合金氮化物复合涂层及其制备方法与应用。所述高熵合金氮化物复合涂层包括依次形成于基体表面的过渡层和高熵合金氮化物层，所述高熵合金氮化物层的分子式为(AlCrWTiMo)N，所述高熵合金氮化物层表面呈花椰菜状结构，所述高熵合金氮化物层具有非晶‑纳米晶的梯度结构。本发明中的复合涂层采用磁控溅射技术获得，生产工艺可重复性好、沉积速度快、对涂层损伤小，所得涂层纯度高、致密性好、成膜均匀性好、易于实现工业化，可用于高端装备的机械运动部件。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113025953 A
(43)申请公布日 2021.06.25
(21)申请号 202110232344.5
(22)申请日 2021.03.02
(71)申请人 中国
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