一种压电微机械换能器.pdfVIP

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2023-06-12 发布于四川
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一种压电微机械换能器.pdf

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本发明公开了一种压电微机械换能器，属于换能器技术领域，解决了换能器由于采用多换能器组成阵列，导致器件体积较大、成本高的问题，本发明包括基底，基底包括底硅层和设置于底硅层上的埋氧层，埋氧层上方由下至上依次连接有顶硅层、底层金属层、压电材料层和顶层金属层，底硅层和埋氧层处的基底中心位置设置有背部空腔，压电材料层上形成与背部空腔形状相同、尺寸大小相同、位置相对应的振膜区域，振膜区域内的压电材料层包括安装于外侧的振膜外侧电极，振膜外侧电极内部安装有振膜内侧电极，振膜外侧电极与振膜内侧电极之间设置有隔离沟

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113042350 A (43)申请公布日 2021.06.29 (21)申请号 202110423696.9 (22)申请日 2021.04.20 (71)申请人广州蜂鸟传感科技有限公司