硅芯炉拉单晶工艺.docx

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2023-06-13 发布于陕西
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硅芯炉拉单晶工艺多晶硅是单晶硅生产企业必不行少的主要原料，而硅芯是多晶硅生产过程中生长多晶的载体。多晶硅生长载体-硅芯的生产，是多晶硅生产不行缺少的主要装备之一。硅芯晶体生长工艺特点硅芯晶体生长一般承受垂直区熔法。原料棒固定在下轴上，籽晶装在上轴，上下轴同轴心。用高频感应线圈在氩气气氛中加热，使原料棒的顶部和在其上部靠近的同轴固定的单晶籽晶间形成熔滴，随着硅芯晶体的不断生长，硅芯晶体向上作慢速提拉，与此同时，原料棒以与之匹配的速度向上作慢速移动，需要时原料棒可转动。硅芯炉设备工作时，先对设备进展抽空，等炉内真空度≤3Pa 时，切断抽空，然后充以氩气保护气氛，加热料棒，晶体生长开