硅芯炉拉单晶工艺.docx

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硅芯炉拉单晶工艺 多晶硅是单晶硅生产企业必不行少的主要原料,而硅芯是多晶硅生产过程中生长多晶的载体。多晶硅生长载体-硅芯的生产,是多晶硅生产不行缺少的主要装备之一。 硅芯晶体生长工艺特点 硅芯晶体生长一般承受垂直区熔法。原料棒固定在下轴上,籽晶装在上轴,上下轴同轴心。用高频感应线圈在氩气气氛中加热,使原料棒的顶部和在其上部靠近的同轴固定的单晶籽晶 间形成熔滴,随着硅芯晶体的不断生长,硅芯晶体向上作慢速提拉,与此同时,原料棒以与 之匹配的速度向上作慢速移动,需要时原料棒可转动。 硅芯炉设备工作时,先对设备进展抽空,等炉内真空度≤3Pa 时,切断抽空,然后充以氩气保护气氛,加热料棒,晶体生长开

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