- 1、本文档共3页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
硅芯炉拉单晶工艺
多晶硅是单晶硅生产企业必不行少的主要原料,而硅芯是多晶硅生产过程中生长多晶的载体。多晶硅生长载体-硅芯的生产,是多晶硅生产不行缺少的主要装备之一。
硅芯晶体生长工艺特点
硅芯晶体生长一般承受垂直区熔法。原料棒固定在下轴上,籽晶装在上轴,上下轴同轴心。用高频感应线圈在氩气气氛中加热,使原料棒的顶部和在其上部靠近的同轴固定的单晶籽晶 间形成熔滴,随着硅芯晶体的不断生长,硅芯晶体向上作慢速提拉,与此同时,原料棒以与 之匹配的速度向上作慢速移动,需要时原料棒可转动。
硅芯炉设备工作时,先对设备进展抽空,等炉内真空度≤3Pa 时,切断抽空,然后充以氩气保护气氛,加热料棒,晶体生长开
您可能关注的文档
最近下载
- 2025年部编版道德与法治四年级下册第三单元复习课教案.docx VIP
- 2022年南通大学临床医学专业《药理学》科目期末试卷A(有答案).pdf VIP
- 新民說.doc
- 2025年部编版道德与法治四年级下册第二单元复习课教案.docx VIP
- 中国历代服饰演变课件.pptx
- 1000mw超临界机组主设备选型及全面性热力系统-初步设计-方案书毕业设计论文.doc VIP
- 水泵房施工组织设计.pdf VIP
- 2023年南通大学口腔医学《药理学》科目期末试卷A(有答案).docx VIP
- 中国历代服饰变化.pptx
- 第14课 丝绸之路的开通与经营西域(教学设计)-2024-2025学年七年级历史上册素养提升教学设计(统编版2024).docx VIP
专注地铁、铁路、市政领域安全管理资料的定制、修改及润色,本人已有7年专业领域工作经验,可承接安全方案、安全培训、安全交底、贯标外审、公路一级达标审核及安全生产许可证延期资料编制等工作,欢迎大家咨询~
文档评论(0)