一种单晶二硒化铂薄膜的制备方法.pdfVIP

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2023-06-12 发布于四川
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一种单晶二硒化铂薄膜的制备方法.pdf

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一种单晶二硒化铂薄膜的制备方法，属于功能薄膜材料领域。本发明将经过预处理的蓝宝石基片置于石英舟内，并倒扣于铂原料上方形成空间限域结构。采用硒粉作为原料，在高温处理下，硒粉与铂原料蒸发，在载气的作用下迁移到蓝宝石基底表面反应并生长，最终在蓝宝石基底表面获得单晶二硒化铂薄膜。本发明具有方法简单、成本低廉、无污染的特点，并且有效解决了近年来二硒化铂因为其金属前驱体蒸气压低、且不稳定的难题。本发明可应用于基于二硒化铂的电子器件、光电探测、催化、力学和磁学等领域。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113046827 B (45)授权公告日 2022.06.17 (21)申请号 202110287808.2 US 2014245946 A1,2014.09.04 (22)申请日