基于光学检测装置的表面检测方法和光学检测装置.pdfVIP

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2023-06-12 发布于四川
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基于光学检测装置的表面检测方法和光学检测装置.pdf

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本发明提供了一种基于光学检测装置的表面检测方法和光学检测装置。该方法包括：获取一测试样品，测试样品的第一待测表面上的图案包括至少一种特征区域，至少一种特征区域按照一图案分布方式在第一待测表面上重复出现；获取每个特征区域的特征图像，调整照明单元的照明参数以获得每个特征区域的最佳照明参数，建立最佳照明参数和特征区域的对应关系；获取目标样品，目标样品的第二待测表面上的图案按照至少一种特征区域的图案分布方式重复出现；以及按照预定顺序检测第二待测表面上的多个检测区域，根据对应关系获得每个检测区域对应的特征

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115684178 A (43)申请公布日 2023.02.03 (21)申请号 202211394246.2 (22)申请日 2022.11.08 (71)申请人睿励科学仪器(上海)有限公司地址