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- 2023-06-12 发布于四川
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本发明提供一种平面度检测装置,所述平面度检测装置包括载物台、升降机构、连接板以及多组检测单元,检测单元包括传感器、线性模组;载物台上设置有至少3个支撑单元,支撑单元高度可调;位于待测物下方的载物台镂空,所述检测单元位于该待测物的下方且垂直于该待测物的所述待测面;所述升降机构通过所述连接板与所述检测单元相连;所述连接板包括与所述检测单元对应数量的由中心向外辐射的扇辐,各个扇辐包括扭转段和直线段,所述扭转段使得所述直线段的一条侧边处于经过该中心的直线上,所述线性模组固定在直线段上,并且所述传感器在该
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113028980 A
(43)申请公布日 2021.06.25
(21)申请号 202110335316.6
(22)申请日 2021.03.29
(71)申请人 中国计量大学
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