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本文论述的系统和方法能够用于在单一基板上遍及光栅材料上形成处于各种倾斜角的光栅，这是通过下述方式实现的：确定离子束角度，以及将离子束的角度在多个离子束角度之间改变，从而形成具有变化的角度和截面几何形状的多个光栅。所述基板能够绕着中心轴旋转，并且能够调控一个或多个工艺参数(诸如离子束的占空比)，从而形成具深度梯度的光栅。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113039627 A
(43)申请公布日 2021.06.25
(21)申请号 201980073367.7 (74)专利代理机构 北京律诚同业知识产权代理
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