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2023-06-12 发布于四川
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一种用于芯片生产的抛光设备.pdf

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本发明涉及一种用于芯片生产的抛光设备，包括工作台、顶板、抛光装置、基座和两个固定杆，还包括清理机构和收集机构，收集机构包括收集盒、转轴、弹性布、第一电机、第一轴承、支管、抽气组件、两个移动组件、两个排液管、两个排液组件、若干滤网和若干辅助组件，清理机构包括第二电机、转杆、转盘、驱动绳、清理板和两个导向组件，该用于芯片生产的抛光设备通过收集机构，实现了回收抛光液的功能，避免抛光液的浪费，从而提高了设备的环保性，通过清理机构，实现了清理工作台的功能，使得碎屑不会残留在工作台上，避免造成晶圆放置在工作

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113021161 A (43)申请公布日 2021.06.25 (21)申请号 202110153175.6 (22)申请日 2021.02.04 (71)申请人肇庆市小凡人科技有限公司

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