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本发明公开了一种掩膜板的张网方法，包括：获取掩膜板框架所含各边框的边界参数；根据各边框的边界参数确定坐标原点，并根据被张网设备施加对抗力的两个边框的边界参数，确定与两个边框的中垂线夹角最小的方向为X坐标轴，与X坐标轴垂直的方向为Y坐标轴，以建立掩膜板框架的坐标系；调节掩膜板框架与张网设备的相对位置，直至掩膜板框架的坐标系与张网设备的坐标系重合，实现掩膜板框架与张网设备之间的对位；在张网设备的坐标系下，采用张网设备将掩膜板固定在掩膜板框架上。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113061841 B
(45)授权公告日 2022.08.19
(21)申请号 202110288740.X C23C 14/24 (2006.01)
(22)申请日 2021.03
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