一种垂直腔面发射激光器阵列及其制备方法.pdfVIP

下载本文档

1
0
约2.19万字
约 30页
2023-06-13 发布于四川
举报
版权申诉

一种垂直腔面发射激光器阵列及其制备方法.pdf

1、本文档共30页，其中可免费阅读29页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明实施例提供一种垂直腔面发射激光器阵列及其制备方法，涉及激光器技术领域，所述垂直腔面发射激光器阵列包括多个垂直腔面发射激光器，所述制备方法包括：在衬底上形成第一外延结构；在所述第一外延结构远离所述衬底的一侧刻蚀形成多个发光孔；在所述第一外延结构远离所述衬底一侧形成覆盖多个所述发光孔的第二外延结构。本发明实施例提供一种垂直腔面发射激光器阵列及其制备方法，以实现不形成台面结构，从而相邻垂直腔面发射激光器可以连续地连接，减小了相邻两个垂直腔面发射激光器之间的距离，增加了垂直腔面发射激光器阵列中垂直

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113097864 B (45)授权公告日 2021.11.30 (21)申请号 202110645618.3 H01S 5/32 (2006.01)