原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供一种承载装置及半导体清洗设备，其中，承载装置用于半导体清洗设备，承载装置包括承载结构和驱动组件，承载结构具有放置晶圆的承载槽，承载装置用于设置于半导体清洗设备的清洗腔室内，驱动组件能够提供驱动力，用于与承载于承载结构上的晶圆接触，以带动晶圆在承载结构中相对于承载槽运动。本发明提供的承载装置及半导体清洗设备，能够提高清洗液体的流动性，以提高去除颗粒的效果，避免颗粒聚集的情况产生，并加速清洗液体与晶圆的反应，从而提高清洗效果。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113113346 A
(43)申请公布日 2021.07.13
(21)申请号 202110340243.X
(22)申请日 2021.03.30
(71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司
文档评论（0）