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一种基于二维材料的微流通道的制备方法和微流控制器件.pdfVIP

一种基于二维材料的微流通道的制备方法和微流控制器件.pdf

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    提供了一种基于二维材料的微流通道的制备方法及微流控制器器件。根据一实施例，该制备方法包括如下步骤：在衬底上生长二维材料薄膜，然后在二维材料薄膜上沉积保护层，最后通过磁控溅射继续沉积一定厚度的无机薄膜。当遇到水等激发源时，薄膜中的应力将得以部分释放并产生形变，从而在二维材料和衬底的界面处产生中空结构的微流通道。不仅操作简便而且制备的微流通道内壁具有原子级平整的表面，有利于液体在微流管道中的传输。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113058665 B (45)授权公告日 2022.05.10 (21)申请号 202110280105.7 审查员 韩希玲 (22)申请日 2021.03.16

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