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一种片盒的位置校准设备.pdfVIP

一种片盒的位置校准设备.pdf

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    本申请公开一种片盒的位置校准设备，包括支撑板组件、调整机构和检测机构，其中，支撑板组件连接调整机构，支撑板组件用于承载片盒；检测机构用于检测片盒的实际位置；调整机构用于在检测机构检测到实际位置不在预设位置的情况下，驱动片盒在支撑板组件上进行偏摆运动和/或平移运动，以使片盒从实际位置运动至预设位置。本申请能够实现对片盒的准确定位，进而保证取片位置的准确，有效防止取片失败或者机械手撞片等异常。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113063379 A (43)申请公布日 2021.07.02 (21)申请号 202110282649.7 (22)申请日 2021.03.16 (71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司

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