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本发明属于工件缺陷测量技术领域，公开了一种基于里德堡原子的工件缺陷测量装置，包括探测光源和耦合光源，探测光源和耦合光源发出的探测光和耦合光相向重合入射至碱金属原子气室，激发原子到里德堡态；第一射频信号源和第二射频信号源的信号输出端与波导连接，用于分别输出具有频率差的微波信号，微波信号经波导发出后入射至碱金属原子气室与里德堡原子相互作用；光电探测器接收经过碱金属原子气室后的探测光并发送至数据采集处理模块，数据采集处理模块根据探测光强度，计算得到待测工件的缺陷。本发明可以实现工件的曲线测量，测量精度
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113092420 B
(45)授权公告日 2022.03.18
(21)申请号 202110436943.9 G01B 15/00 (2006.01)
(22)申请日
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