一种气驱动微型光栅尺.pdfVIP

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2023-06-13 发布于四川
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一种气驱动微型光栅尺.pdf

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一种气驱动微型光栅尺，包括外壳，设置在外壳中的安装框架、探头组件、用于控制探头组件伸出与缩回的控制结构、光栅组件；安装框架，固定设置在外壳中，其内部配置有可延外壳轴向方向滑动的滑块；探头组件，和安装框架以及外壳共同形成气体腔室一；探头组件包括探头、和探头相连接的滑动光轴，滑动光轴之面向滑块的端面为气压受力端，滑动光轴通过一穿入到安装框架中的连杆与滑块相连接；控制结构，包括设置在安装框架上的和气体腔室一相连通的通气管、设置在气体腔室一中的用于和滑动光轴相吸的永磁体、线圈，线圈在通电状态下产生能够与

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113091621 A (43)申请公布日 2021.07.09 (21)申请号 202110499349.4 (22)申请日 2021.05.08 (71)申请人福州云睿自动化设备有限公司