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一种清洗设备和清洗方法.pdfVIP

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  • 2023-06-13 发布于四川
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一种清洗设备和清洗方法.pdf

    本发明提供一种清洗设备和清洗方法，该清洗设备包括：第一槽体，用于盛放工艺液体，并承载待清洗件；第二槽体，设置在第一槽体的一侧，用于盛放来自补液装置的工艺液体；以及液体输送装置，分别与第一槽体和第二槽体连接，用于选择性地进行槽间循环模式或槽内循环模式，其中，槽间循环模式为将工艺液体在第一槽体和第二槽体之间循环流动，且使第一槽体内的工艺液体沿第一方向流动；槽内循环模式为将工艺液体在第一槽体内沿第二方向循环流动，且第二方向与第一方向相反。本发明提供的清洗设备和清洗方法，其不仅可以提高工艺均匀性，而且还

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113058921 A (43)申请公布日 2021.07.02 (21)申请号 202110260274.4 (22)申请日 2021.03.10 (71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司

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