一种基于音叉型石英晶体谐振频率的真空度检测系统.pdfVIP

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2023-06-13 发布于四川
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一种基于音叉型石英晶体谐振频率的真空度检测系统.pdf

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本发明提供一种基于音叉型石英晶体谐振频率的真空度检测系统，包括：石英晶体，所述石英晶体置于待测真空腔体内；谐振电路，所述谐振电路与所述石英晶体相连，用于控制所述石英晶体进行谐振；谐振信号发生器，所述谐振信号发生器与所述石英晶体相连，用于控制所述谐振电路发生谐振；谐振检测器，用于基于所述谐振电路检测所述石英晶体的谐振频率，上述测量装置中由于石英晶体的元器件尺寸小，因此可以灵活摆放于小空间内，实现了小型空间内的真空程度的测量。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113091998 A (43)申请公布日 2021.07.09 (21)申请号 202110378476.9 (22)申请日 2021.04.08 (71)申请人中国科学技术大学地址