面内拉伸模态射频微机电谐振器.pdfVIP

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2023-06-14 发布于四川
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本公开提供了一种面内拉伸模态射频微机电谐振器，包括：谐振单元，工作于面内拉伸模态下；定义谐振单元由在面内拉伸模态下的谐振振动而产生位移量变化的边缘位置为振动部；支撑单元，包括支撑梁和基座；支撑梁包括形成复合结构的直梁和框型梁；支撑梁用于支撑谐振单元；基座与支撑梁相连，用于维持谐振单元的悬空；电极，设置于谐振单元的振动部处，用于驱动和检测谐振单元进行谐振振动的换能结构。本发明提供的面内拉伸模态射频微机电谐振器基于面内拉伸模态，热弹性损耗和介质损耗低；支撑梁为复合结构，减小了谐振器的支撑损耗，进一步

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113114149 A (43)申请公布日 2021.07.13 (21)申请号 202110568612.0 (22)申请日 2021.05.24 (71)申请人中国科学院半导体研究所

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