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描述了一种传感器装置，包括：衬底，具有在其第一主表面区域和第二主表面区域之间的贯通开口；声音换能部分，被布置在衬底的第一主表面区域处并且至少部分地跨越衬底中的贯通开口；以及压力感测部分，被布置在衬底的第一主表面区域处并且流体耦接到衬底中的贯通开口。声音换能部分包括可偏转膜结构和反电极。压力感测部分包括以堆叠配置的第一和第二刚性电极以及可偏转膜结构。压力感测部分的可偏转膜结构与衬底的第一主表面区域的平面相对。以堆叠配置的形式，压力传感器的第一和第二刚性电极形成压力传感器的参考电容器，并且第二刚性电
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116256089 A
(43)申请公布日 2023.06.13
(21)申请号 202211511962.4
(22)申请日 2022.11.29
(30)优先权数据
7 2021
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