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2023-06-14 发布于四川
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半导体器件.pdf

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本公开提供一种半导体器件，包括：衬底、支撑层和多个下电极；在支撑层和多个下电极的一个俯视图中，多个下电极在第一方向与第二方向彼此相互分离排列，同一列下电极在第二方向对准设置，任意相邻两列下电极在第一方向错位排列；在俯视图中，存在最边缘的连续四列下电极，其按照由外朝内的方向依次为第一列下电极、第二列下电极、第三列下电极和第四列下电极，第一列下电极具有第一底部位置，第二列下电极具有第二底部位置，第三列下电极具有第三底部位置，第四列下电极具有第四底部位置；其中，第一底位置与第三底位置在第一方向彼此对齐

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116261329 A (43)申请公布日 2023.06.13 (21)申请号 202310037699.8 (22)申请日 2023.01.09 (71)申请人福建省晋华集成电路有限公司地址