YS_T 1413-2021CN 超高纯铟行业标准.docx

ICS 77.150.99 CCS H 66 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T 1413—2021 超 高 纯 铟 Ultra high purity indium 2021-03-05发布 2021 - 07 - 01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 YS/T 1413—2021 前 言 本文件按照GB/T1.1—2020 《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国有色金属标准化技术委员会(SCA/TC 243)提出并归口。 本文件起草单位：峨眉山市峨半高纯材料有限公司，峨嵋半导体材料研究所，成都中建材光电材料有 限公司，广东先导稀材股份有限公司，有色金属技术经济研究院有限责任公司。 本文件主要起草人：孙平、张程、雷聪、黎亚文、朱君、郑林、覃士敏、孙艳容、朱赞芳。 1 YS/T 1413—2021 超 高 纯 铟 1 范围 本文件规定了超高纯铟的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、随行文件及订货 单内容。 本文件适用于以99.99%铟为原料，经过电解、真空蒸馏、直拉等工艺制备的纯度不低于99.99999% 的超高纯铟。产品主要用于制作半导体化合物、高纯合金及半导体材料的掺杂剂等。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文 件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本 文件。 GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 YS/T 981.1 高纯铟化学分析方法 镁、铝、硅、硫、铁、镍、铜、锌、砷、银、镉、铊、铅的测定 高质量 分辨率辉光放电质谱法 3 术语和定义 本文件没有需要界定的术语和定义。 4 技术要求 4.1 化学成分 超高纯铟的牌号为In-07,其化学成分应符合表1的规定。 表 1 牌号及化学成分 牌 号 In-07 化学成分(质量分数) In2/%,不小于 99.99999 杂质/10-4%,不大于 Ag 0.002 Cd 0.005 Cu 0.005 Fe 0.005 Mg 0.005 Ni 0.005 Pb 0.01 2 YS/T 1413—2021 表1 牌号及化学成分(续) 牌号 In-07 化学成分(质量分数) 杂质/10-4%,不大于 Zn 0.02 Al Au Ca Co V Cr Ga Mn Na Ti Tl 杂质总和b/10-4%,不大于 0.1 注：用户对其他杂质元素要求提供检测数据时，可由双方协商解决。 a超高纯铟的铟含量为100%减去杂质(不包含C、N、O等气体元素)总和的余量。 b 杂质总和为包括且不限于表中所列杂质元素实测值之和。 4.2 规格 超高纯铟为锭状、棒状、粒状。具体规格及尺寸要求由供需双方商定。 4.3 外观质量 超高纯铟外观呈银白色有金属光泽，锭状产品表面应平整、无缩孔， 5 试验方法 5.1 超高纯铟中镉、铜、铁、镁、镍、铅、锌、铝含量的检测按照YS/T 981.1 的规定进行，其他化学成分分 析参见附录 A,或按照供需双方协商确定的方法进行。 5.2 超高纯铟的规格及尺寸要求由供需双方商定。 5.3 超高纯铟的外观质量用目视法检查。 6 检验规则 6.1 检查与验收 6.1.1 超高纯铟应由供方或第三方进行检验，保证产品质量符合本文件及订货单的规定。 6.1.2 需方可对收到的产品按本标准的规定进行检验。如检验结果与本文件及订货单的规定不符时， 应在收到产品之日两个月内以书面形式向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，应由供需双方在 需方共同取样或由供需双方协商确定。 3 YS/T 1413—2021 6.2 组批 超高纯铟应成批提交检验，每批应由同一原料生产、同一生产批次的超高纯铟组成。每批产品的重 量应不大于50 kg。 6.3 检验项目 每批超高纯铟应进行化学成分、规格及外观质量的检测。 6.4 取样和制样 6.4.1 取样 超高纯铟化学成分检验，每批次随机抽取不少于总量的10%作为样品，将其熔化成液态并混 合均匀。 超高纯铟的规格及外观质量逐件进行检验。 6.4.2 制样 将样品制备成以下两种规格之一： a) 直径为25 mm～35 mm、厚度为3 mm～5mm, 表面平整、无缩孔的饼状样品； b) 截面积为2mm2~9mm2, 长度为20mm 的棒状样品。 6.5 检验结果的判定 6.5.1