ZZ1100箱式真空镀膜机说明书解析.pdf

箱式真空镀膜机使用说明书 1、 概 述 本设备采用箱式结构，抽气系统后置，便于拆卸和维修。整机表 面平整，便于清洁，适合净化间安装。蒸发室全部采用不锈钢制造， 外有可通冷、热水的护罩，可对壁进行加热(热水器选配)或冷却。蒸 发室底板有足够的面积布置蒸发源和各种接头。阀门采用气动，操作 方便，使用可靠。液氮冷阱和水冷挡板设计为一整体。蒸发室抽气口 也设置一光学密封机械挡板，因此可使蒸发室的油污染降低到极低的 程度。本设备配备的抽气元件抽速较大，因此具有抽气时间短 ，工作 真空度高 ，生产周期短等特点。