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本发明公开一种反射式光栅尺,包括有光源、镜头、主光栅尺、副光栅尺和接收单元,所述主光栅尺上设有第一光栅条纹,所述副光栅上设有与所述第一光栅条纹相对应的第二光栅条纹,所述接收单元与副光栅尺为相对平行间隔设置,所述光源设置于所述镜头上,所述第一光栅条纹包括RI码道和增量码道,RI码道依次包括第一不反光区、增量码道区、第一反射区、增量码道区、第一不反射区、增量码道区、第二反射区、第二不反光区,接收单元上对应RI码道位置设有接收区,所述接收区依次包括Z+信号区、A+信号区、B+信号区、A‑信号区、B‑信
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113124760 B
(45)授权公告日 2022.08.02
(21)申请号 202010259720.5 (51)Int.Cl.
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