光伏产业链介绍课件.pptVIP

一.硅材料制备工艺流程(西门子法)焦碳盐酸冶金硅硅砂电炉多晶硅三氯氢 硅还原 硅太阳电池制造过程 硅片制备 1.由硅砂到冶金硅nn将石英砂放在大型电弧炉中,用焦碳进行还原。SiO +2C Si+2CO2硅定期从炉中倒出,并用氧气或氧-氯 混合气体吹之以进一步提纯。然后倒入浅槽,逐渐凝固,便成冶金硅(含硅97%-99%) 2.由冶金硅到三氯氢硅nn将冶金硅破碎成粉末,与盐酸在液化床上进行反应,得到三氯氢硅(TCS)。Si+3HCl SiHCl3+H2 3.由三氯氢硅到多晶硅n对三氯氢硅进行分馏,以达到超纯状态。nn对超纯三氯氢硅用H 通过化学气相沉2积(CVD)方法还原成多晶硅。SiHCl +H