光学薄膜透反射率的常用测量方法课件.pptVIP

光学薄膜的检测 光学薄膜透、反射率的常用测量方法 薄膜透射率和反射率的测量透射率和反射率是光学薄膜器件的最基本的光学特性，因此薄膜反射率和透射率测试是光学薄膜的基本测试技术；薄膜透射率与反射率主要是采用光谱测试分析仪进行测试；光谱仪：? 按照波段不同划分为：紫外－可见光分光光度计、红外分光光度计；? 按测试原理不同划分为：单色仪分光光度计和干涉型光谱测试系统； ?单色仪型分光光度计原理单色仪单照明光处理系统光源样品池传感器色学系统仪? 光源：稳压电源、可见(钨丝灯或卤钨灯)、紫外(氙灯)、红外(卤钨灯);? 照明系统：光束整形与会聚；? 单色仪：由色散原件、狭缝机构以及色散原件的扫描驱动；光栅