原创力文档- 1、本文档共26页，其中可免费阅读25页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及一种模块化智能功率系统的自动后固化方法，属于功率半导体技术领域。该模块化智能功率系统的自动后固化方法包括：第一上料步骤、第二上料步骤、保压步骤、烘烤步骤、解压步骤、第一下料步骤以及第二下料步骤。本发明的模块化智能功率系统的自动后固化方法，通过采用第一载具、第二载具和保压组件，并通过烘烤输送装置、输送轨道以及机械手的配合，至少可以完成自动上料、自动加压、自动烘烤、自动下料步骤，模块化智能功率系统结构的后固化处理效率高，产品质量更加稳定。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113140484 A
(43)申请公布日 2021.07.20
(21)申请号 202110307608.9
(22)申请日 2021.03.23
(71)申请人 广东汇芯半导体有限公司
文档评论（0）