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检查透明基材上的缺陷的方法和设备及发射入射光的方法.pdfVIP

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  • 2023-06-15 发布于四川
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检查透明基材上的缺陷的方法和设备及发射入射光的方法.pdf

    一种检查透明基材上的缺陷的方法可以包括：对照明光学系统的倾斜度进行选择，使得入射在透明基材上的光具有第一角度；对检测光学系统的倾斜度进行选择，使得位于透明基材上方的检测光学系统的光轴具有第二角度，所述第二角度等于或小于所述第一角度；调整照明光学系统、透明基材和检测光学系统中的至少一者的位置，使得检测光学系统的视场覆盖第一区域，但不覆盖第二区域，在第一区域中，光与透明基材的第一表面相遇，在第二区域中，透射通过光与透明基材的第二表面相遇，第二表面与第一表面相对；照射透明基材；以及检测从透明基材散射的

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 110050184 A (43)申请公布日 2019.07.23 (21)申请号 201780068

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