基于脊波导匹配的微波等离子体激发装置及尺寸确定方法.pdfVIP

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2023-06-15 发布于四川
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基于脊波导匹配的微波等离子体激发装置及尺寸确定方法.pdf

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本发明公开了一种基于脊波导匹配的微波等离子体激发装置及尺寸确定方法，它包括等离子体激发腔体（30），其特征在于：矩形波导喇叭（10）与脊波导匹配段（20）连接；脊波导匹配段（20）与等离子体激发腔体（30）连接；等离子体激发腔体（30）中心位置设置有垂直于离子体激发腔体（30）的石英管（60）；解决了现有技术的等离子体激发装置存在的对电场的增强有限、放电区域的电场聚焦不够，电场分布没有有效地集中于放电区域，需要较高的微波输入功率才能激发等离子体，对微波源的要求较高；（3）等离子体激发后无法有效散

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113194595 A (43)申请公布日 2021.07.30 (21)申请号 202110578881.5 (22)申请日 2021.05.26 (71)申请人贵州大学地址 55