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一种微机电传感器的背腔的制造方法.pdfVIP

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  • 2023-06-15 发布于四川
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一种微机电传感器的背腔的制造方法.pdf

    本申请公开了一种微机电传感器的背腔的制造方法，该背腔的制造方法包括：采用第一Bosch工艺在衬底中形成凹槽，第一Bosch工艺包括向衬底多次交替输送刻蚀气体与保护气体，衬底具有相对的正面与背面，凹槽自衬底的背面延伸至衬底中；以及采用第二Bosch工艺将凹槽继续延伸至衬底的正面，以形成贯穿衬底的背腔，第二Bosch工艺包括对衬底多次交替的输送刻蚀气体与保护气体，其中，第一Bosch工艺在向衬底输送刻蚀气体的阶段内对衬底的刻蚀速率高于第二Bosch工艺在向衬底输送刻蚀气体的阶段内对衬底的刻蚀速率。该

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113200511 A (43)申请公布日 2021.08.03 (21)申请号 202110367160.X (22)申请日 2021.04.06 (71)申请人 杭州士兰集昕微电子有限公司

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