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一种晶元烘烤用烘箱.pdfVIP

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  • 2023-06-15 发布于四川
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一种晶元烘烤用烘箱.pdf

    本发明涉及晶元生产技术领域，尤其是一种晶元烘烤用烘箱，包括保温箱体，所述保温箱体固定设有安装隔板一，两个所述弧形贯穿滑槽一的内壁滑动连接设有安装板，所述安装板固定设有两个导向柱，所述保温箱体固定设有安装隔板二，所述导向柱均滑动连接设有移动座，所述移动座均固定设有L形安装板，所述L形安装板均固定设有喷风罩，所述喷风罩均固定设有伸缩软管，所述伸缩软管均固定设有连接管，所述三通固定设有加热组件，所述加热组件固定设有风机，所述长形贯穿槽的内壁滑动连接设有两个夹板，所述夹板均等距离设有多个弧形卡槽。本发明

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113203257 A (43)申请公布日 2021.08.03 (21)申请号 202110378986.6 H01L 21/67 (2006.01) (22)申请日 2

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