一种ITO废靶坯回收制备的ITO粉末、靶材及其制备方法.pdfVIP

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2023-06-15 发布于四川
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一种ITO废靶坯回收制备的ITO粉末、靶材及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种ITO废靶坯回收制备的ITO粉末、靶材及其制备方法，属于靶材回收及制备领域。本发明所述ITO废靶坯回收制备ITO粉末的方法先将ITO废靶坯粉碎至特定颗粒尺寸，随后经过热处理去除粉末中多余的添加剂杂质，最后与球磨助剂按比例混合后进行球磨制粉，所得产品颗粒均匀且密度较高；所述方法无需添加额外新粉原料，操作步骤简单，设备要求低，生产效率及得率高，制备成本低廉。本发明还公开了由所述方法制备的ITO粉末；本发明还公开了一种ITO废靶坯回收制备ITO靶材的方法。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113149611 A (43)申请公布日 2021.07.23 (21)申请号 202110537525.9 (22)申请日 2021.05.17 (71)申请人先导薄膜材料（广东）有限公司