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本发明公开了一种修整头旋转部件、抛光垫修整头和修整器。在传动膜与研磨座之间所形成的腔体内设置所述内圈下压盖，并在内圈下压盖与研磨座之间设置万向传动销，从而构成传动膜传动结构，由于传动膜具有可变形的特性，当设置于研磨座下的砂轮盘与抛光垫接触后，通过向修整头旋转部件向下施加一定压力，传动膜以万向传动销为调节支点随着砂轮盘贴合抛光垫而形变，从而实现万向调节，使得砂轮盘与抛光垫紧密贴合，进而保证了修整头对抛光垫的抛光效果。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113183031 A
(43)申请公布日 2021.07.30
(21)申请号 202110551351.1
(22)申请日 2021.05.20
(71)申请人 杭州众硅电子科技有限公司
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