一种基于互质调制的多模态硅基芯片检测方法.pdfVIP

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2023-06-15 发布于四川
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一种基于互质调制的多模态硅基芯片检测方法.pdf

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本发明实施例公开了一种基于互质调制的多模态硅基芯片检测方法，涉及光谱检测技术领域。所述方法包括：选用1064nm波长的激光器作为激发光源，选用空间外差型傅里叶变换干涉仪，以多模马赫‑曾德尔干涉器(MZI)为核心部件，采用二维光栅耦合器将自由空间产生的拉曼信号光耦合至硅基芯片，模式复用器将多种模态信号同步耦合入MZI阵列中，再由模式解复用器分离每个模态信号。对于分离出的多模态信号，采用互质干涉信号的超采样估计方法提高信号的采样率，最后利用对抗生网络的方式，实现光谱的复原。本发明实施例在保证光谱分辨

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113189080 A (43)申请公布日 2021.07.30 (21)申请号 202110463454.2 (22)申请日 2021.04.28 (71)申请人天津大学地址 30